本文研究了金属氧化物薄膜晶体管栅极二氧化硅薄膜绝缘层的制备和性能.二氧化硅的制备采用低温等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),高质量和高绝缘性的氧化硅能够减少栅极漏电流和提高栅极击穿电压,同时二氧化硅薄膜还能够保护金属氧化物层免遭等离子体的损害来提高金属氧化物的电学特性.本文还研究了通过改变N20/SiH4的配比、成膜功率和成膜温度,来得到高质量和高绝缘...  

【摘要】：在交流用电设备的安装调试过程中,时常会发现交流电源零线和保护地之间的电压远超过了的正常的由导线电阻产生的电压差,其值一般会在供电电压的一半左右,如220VAC(有效值,下同)市电供电情况下,零线(N)、相线(L)与保护地线(PE)间的电压会出现110VAC左右的压差。主要通过实际测量和电路分析的方法,阐述了两种不同的情况下异常电压的产生原因,论证了供电系统接地异常和共模电容使用是该异常电压的主要成因,并测算了在一般情况下的这种电压差是否会对人身安全和设备正常使用造成威胁;最后给出了这种异常电压的处理建议。